Тема: Исследование зависимости тока ионов аргона от величины ускоряющего напряжения в источнике ионов с полым анодом

источник ион ионная имплантация. Рис.1. Схема расположения электростатических полей в источнике ионов
...в качестве мишени магния, а плазмообразующего газа - аргона . Абсолютная величина токов ионов металлов на коллекторе после прохождения...

2.2 Механизмы взаимодействия имплантируемых ионов с мишенью. Из литературных источников [8, 21, 26, 36, 37, 48, 49], известно, что...
...за счет изменения тока на катоде, ускоряющего напряжения между анодом и экстрактором (рисунок 2.1), давления...

...внешний электрических полей ) непрерывное истечение ионов невозможно без компенсации ионного тока равным ему...
Если плотность тока ионов , поступающих из источника в ускоряющую систему превосходит величину , определенную формулой (2.44), то в...

В случае слабых полей плотность тока будет очень мала, и слагаемым j/е´l в соотношении (2.7) можно пренебречь по сравнению с rn2 (это означает, что убыль ионов из межэлектродного пространства происходит в основном за счет рекомбинации).

Для распыления мишени используются ионы инертных газов (обычно аргон высокой чистоты). Источником ионов служит либо...
...на ней подложки 4. Между анодом и катодом подается постоянное напряжение величиной несколько киловольт, обеспечивающее...

кг/К - коэффициент электроэрозии катода, J - ток дуги), содержащие (30 ... 80)% ионов различной кратности ионизации со средней кинетической...
Позади переднего электрода, но все еще в источнике (рисунок 2.8(3)), структура очень ясная и точная.