Методы контроля в производстве интегральных микросхем
Наличие в интегральных микросхемах большого количества конструктивных элементов– по несколько сотен и тысяч пересечений проводников...
В это же время необходимость такого контроля, особенно на этапе отработки и совершенствования технологии, очевидна.