Исследование возможности получения пленок кобальта методом CVD
...является метод химического осаждения из газовой фазы (CVD), так как позволяет получать пленки высокой чистоты, с высокой...
...Co(NacNac)2 с заданными магнитными и электрическими свойствами. химический осаждение пленка кобальт. 1 Обзор литературы.