Вакуумное напыление
...и режимов формирования тонкопленочной системы . В случае осаждения покрытия в вакууме из газового потока...
молекулярная откачка - за счет передачи молекулам газа количества движения от твердой, жидкой или парообразной среды. 2. Физико - химические