Тема: Тонкопленочные резисторы

Непроволочные резисторы можно разделить на тонкопленочные (толщина слоя в нанометрах), толстопленочные (толщина в долях миллиметра), объемные (толщина в единицах миллиметра).

Если еще недавно тонкопленочные резисторы использовались главным образом при изготовлении гибридных ИС, то за последние годы они все шире начинают применяться в производстве монолитных ИС по совмещенной технологии.

7. Сёмин А.С. Тонкоплёночные резисторы гибридных микросборок: Руководство к практическим занятиям по курсу « Конструкции и технология микросхем ». –

По принципу создания резистивного элемента различают проволочные, непроволочные и металлофольговые резисторы . Основное применение находят непроволочные резисторы - тонкопленочные (металлокерамические, металлоокисные, металлизированные...

Остальные резисторы данной группы удовлетворяют этому условию. Расчет геометрических размеров тонкопленочных конденсаторов, выполненных методом свободной маски (МСМ)

Остальные резисторы данной группы удовлетворяют этому условию. Расчет геометрических размеров тонкопленочных конденсаторов, выполненных методом свободной маски (МСМ)

Самым распространенным материалом тонкопленочных проводников и контактных площадок в ГИС повышенной надежности является золото с подслоем...
При этом сформированные на предыдущем этапе резисторы не повреждаются. После нанесения поверх проводящих...