Физико-топологическое моделирование структур элементов БИС
Следует отметить, что моделирование технологических процессов является важным, но не единственным...
...так называемого численного эксперимента над моделями объектов проектирования, пpоводимого с помощью ЭВМ численные экспеpименты по исследованию...