Электронные, квантовые приборы и микроэлектроника
Базовые технологические процессы изготовления полупроводниковых ИМС (эпитаксия, термическое окисление, диффузия, ионное...
Методы получения толстых и тонких пленок приведены в [2, с. 195-172]. Особое внимание уделите изучению вопросов расчета и...