Введение в микроэлектронику
...повышение качества и надежности изделий, проведена замена оборудования на новое с меньшими допусками или внедрена автоматизация технологического...
1. Ефимов И.Е., Козырь И.Я., Горбунов Ю.И. Микроэлектроника . Физические и технологические основы ...