Тема: Литография высокого разрешения в технологии полупроводников

ЛИТОГРАФИЯ ВЫСОКОГО РАЗРЕШЕНИЯ В ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ . Фотолитография. Введение. Оптическая литография объединяет в себе такие области науки, как оптика, механика и фотохимия.

по НИРС. ЛИТОГРАФИЯ ВЫСОКОГО . РАЗРЕШЕНИЯ В ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ . Выполнил : Тимофеев А. гр. ФТМ-61. Руководитель: Головатый Ю.П. г. Калуга, 1996 г. Содержание. стр. 1. Фотолитография. 3.

по НИРС. ЛИТОГРАФИЯ ВЫСОКОГО . РАЗРЕШЕНИЯ В ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ . Выполнил : Тимофеев А. гр. ФТМ-61. Руководитель: Головатый Ю.П. г. Калуга, 1996 г. Содержание. стр. 1. Фотолитография. 3.

Однако при травлении линий с субмикронным разрешением и одновременно с высоким отношением высоты линии к ее ширине влажные процессы перестают...
Второй разновидностью ионных процессов применяемых в технологии травления микроструктур является...

...в космической области, в биомедицине, дозиметрии, в измерительных приборах, в технологии развлечения, автомобилестроении и в домашнем хозяйстве.
Например, осаждение плёнок, оптическая литография , гальваника или травление.

Использование в нанотехнологии передовых научных достижений позволяет относить её к высоким технологиям .
...что углеродные наноструктуры проявляют свойства полупроводников и способны в перспективе заменить используемый сейчас в микроэлектронике...