Тема: Субмикронная литография

  • Вид работы:
    Тип работы
  • Предмет:
    Экономика отраслей
  • Язык:
    Русский
    ,
    Формат файла:
    MS Word
    232,37 kb
    Скачать
  • Опубликовано:
    2008-12-09
Вы можете узнать стоимость помощи в написании студенческой работы.
Помощь в написании работы, которую точно примут!

Похожие работы

 
  • Литография высокого разрешения в технологии полупроводников
    7. Валиев К. А., Великов Л. В., Вернер В, Д., Раков А. В. Субмикронная контактная литография с трафаретными шабло- нами.- Электронная промышленность, 1983, № 1, с. 36-38.
    СкачатьСкачать документ Читать onlineЧитать online
  • Литография
    Оптическая литография объединяет в себе такие области науки, как оптика, механика и фотохимия.
    ...неплоскостность пластин, неровный топографический рельеф, а также сама толщина резиста могут привести к невозможности получения субмикронных структур.
    СкачатьСкачать документ Читать onlineЧитать online
  • Оптическая контактная литография
    Электронно-лучевая литография даёт разрешение 0,4 мкм, но из-за высокой стоимости и низкой производительности используется лишь для изготовления фотошаблонов и специальных ИС.
    Перспективы развития для субмикронной литографии . 1. 5.
    СкачатьСкачать документ Читать onlineЧитать online
  • Травление п/п ИМС
    ...более 40 лет продолжает оставаться литография . Литография или микролитография, а сейчас может быть уместно, говорить о...
    Однако при травлении линий с субмикронным разрешением и одновременно с высоким отношением высоты линии к ее ширине влажные...
    СкачатьСкачать документ Читать onlineЧитать online
Не нашел материал для своей работы?
Поможем написать качественную работу
Без плагиата!