Тема: Субмикронная литография

7. Валиев К. А., Великов Л. В., Вернер В, Д., Раков А. В. Субмикронная контактная литография с трафаретными шабло- нами.- Электронная промышленность, 1983, № 1, с. 36-38.

Оптическая литография объединяет в себе такие области науки, как оптика, механика и фотохимия.
...неплоскостность пластин, неровный топографический рельеф, а также сама толщина резиста могут привести к невозможности получения субмикронных структур.

Электронно-лучевая литография даёт разрешение 0,4 мкм, но из-за высокой стоимости и низкой производительности используется лишь для изготовления фотошаблонов и специальных ИС.
Перспективы развития для субмикронной литографии . 1. 5.

...более 40 лет продолжает оставаться литография . Литография или микролитография, а сейчас может быть уместно, говорить о...
Однако при травлении линий с субмикронным разрешением и одновременно с высоким отношением высоты линии к ее ширине влажные...