Свойства арсенида индия
...даже превосходит качество слоев, полученных с участием других систем и методов, за исключением хлоридной системы In-AsCl3-H2. Система InAs -SiCl4-H2.
Для осаждения эпитаксиальных пленок в МЛЭ используются управляемое испарение из термического...