Тема: Литография

7. Валиев К. А., Великов Л. В., Вернер В, Д., Раков А. В. Субмикронная контактная литография с трафаретными шабло- нами.- Электронная промышленность, 1983, № 1, с. 36-38.

7. Валиев К. А., Великов Л. В., Вернер В, Д., Раков А. В. Субмикронная контактная литография с трафаретными шабло- нами.- Электронная промышленность, 1983, № 1, с. 36-38.

7. Валиев К. А., Великов Л. В., Вернер В, Д., Раков А. В. Субмикронная контактная литография с трафаретными шабло- нами.- Электронная промышленность, 1983, № 1, с. 36-38.

Литография контактным способом, один из путей создания такого трафарета, имеющий свои плюсы и минусы. Не один из способов литографии не является универсальным, но вместе они покрывают весь спектр задач данной технологии.

Затем к литографской печати проявляют интерес государственные учреждения — она оказалась весьма удобной для размножения различных канцелярских бумаг и документов (кстати, в этом смысле литография является родоначальницей современной оперативной...

После облучения, часть фоторезиста смывается, а оставшаяся часть используется как маска для травления в последующем технологическом цикле. Максимальное разрешение этого метода - 10нм. Литография при помощи пучка ионов похожа по своему принципу...