Оборудование для ориентации полупроводниковых пластин
...точностью и большим разнообразием (полупроводниковая техника использует ряд процессов из других областей техники...
...от ориентирования относительно кристаллографических плоскостей, обозначаемых индексами Миллера, например (100), (110), (111).