Оборудование для ориентации полупроводниковых пластин
...заключительных операций, а также вспомогательное оборудование для получения чистых газов, воды, химических реактивов и изготовления фотошаблонов.
Методы ориентации полупроводниковых пластин . Поиск заданной кристаллографической плоскости...