Разработка интегральных микросхем
Гибридная технология – характеризуется тем, что пассивные элементы изготавливаются методом пленочной технологии .
Принято различать ИС тонкопленочные, у которых толщина пленок не более 2 мкм, и толстопленочные , у которых толщина пленок значительно...