Реализация метода магнетронного распыления в установке ВУП-5
...разрешение которых может быть осуществлено с помощью магнетронного метода распыления. На базе вакуумного универсального поста (ВУП-5) был...
Однако, ввиду ограничения разрешения растровых электронных микроскопов того времени на уровне 100...